이온주입기(Ion Implantor) :

Wafer에 ION Gas를 주입하는 장비

- 이온 임플란터 엔클로져

- 자동화 / 진공 설비

 * 이온주입기 :

 

반도체 소자를 만들 때 회로 일부에 

전도성을 갖게 하기 위해 이온을 전기장으로 가속해 웨이퍼에 주입하는 장비

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* 장비 가동 시 발생하는 방사선 차폐를 위한 독창적인 쉴드 구조