top of page
Energy Total Solution
반도체
반도체 장비 엔클로져
(semicon. equipment enclosure)
이온주입기(Ion Implantor) :
Wafer에 ION Gas를 주입하는 장비
- 이온 임플란터 엔클로져
- 자동화 / 진공 설비
* 이온주입기 :
반도체 소자를 만들 때 회로 일부에
전도성을 갖게 하기 위해 이온을 전기장으로 가속해 웨이퍼에 주입하는 장비
* 장비 가동 시 발생하는 방사선 차폐를 위한 독창적인 쉴드 구조
bottom of page